產(chǎn)品描述:微氣體質(zhì)量流量計(jì)能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應(yīng)時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補(bǔ)償。
產(chǎn)品概述
SCMFM微氣體質(zhì)量流量計(jì)
微氣體質(zhì)量流量計(jì)的概述:
采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS( Microelectromechanical systems)氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器,主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制。
該產(chǎn)品能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應(yīng)時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補(bǔ)償。
微氣體質(zhì)量流量計(jì)的技術(shù)參數(shù):
2.1 測量介質(zhì):各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)
2.2 流量范圍:DN3 30-300ml/min
DN6 60-600ml/min
DN8 80-800ml/min
DN10 100-1000ml/min
注:
a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言;
b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃,101.325kPa。
c) 每個口徑量程范圍均可擴(kuò)大
d)特殊需要可單獨(dú)標(biāo)定
2.3 流量測量準(zhǔn)確度:±1.5%FS;±2.5%FS
2.4 工作溫度范圍:0-55℃;
2.5 工作壓力范圍:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa
2.6 供電電源:24VDC±10%;
2.7 輸出信號:4-20mA,RS485通訊;
2.8 環(huán)境溫度:0-55℃;
2.9 顯示位數(shù):瞬時流量為三位,累積流量10位。
微氣體質(zhì)量流量計(jì)的工作原理:
uf感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作, 保證傳感器的高度*,解決了:“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)無法保證其傳感器的電阻值的*性,導(dǎo)致傳感器在各個法線方向熱傳導(dǎo)速度的差異,所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)在傳感器校準(zhǔn)和使用過程中產(chǎn)品穩(wěn)定性存在問題,實(shí)際應(yīng)用中的熱式質(zhì)量流量計(jì)價(jià)格昂貴,大規(guī)模應(yīng)用比較難”的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計(jì),同時可靠性穩(wěn)定,安全性更好。
在芯片上,一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo),使動態(tài)響應(yīng)時間大大提高。當(dāng)傳感器工作時,微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差(通常是70℃),在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動,則在氣道中溫度場可用下述公式來計(jì)算:
式中:氣體流動方向?yàn)椋俣葹椋?,a為擴(kuò)散率。
如上圖(式)所示,當(dāng)氣體流過芯片時,將會帶走熱量,通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應(yīng)關(guān)系來計(jì)算流體的質(zhì)量流量。
微氣體質(zhì)量流量計(jì)的分類與命名
微氣體質(zhì)量流量計(jì)的型號命名
MF? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | |
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| 接頭類型 | 0:普通 |
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| 1:Swagelok接頭 | ||
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| 2:其他 | ||
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| 連接形式 | 0:快速接頭 | |
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| 1:法蘭式 | |||
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| 標(biāo)定方式 | 0:空氣 | ||
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| 1:氫氣 | |||
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| 2:氧氣 | |||
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| 3:氮?dú)?/p> | ||||
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| 品種 | 01:有顯示;有485通訊口;有4-20mA輸出 | |||
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| 02:有顯示;有485通訊口;無4-20mA輸出 | ||||
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| 03:有顯示;無485通訊口;有4-20mA輸出 | ||||
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| 04:有顯示;無485通訊口;無4-20mA輸出 | ||||
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| 05:無顯示;有485通訊口;無4-20mA輸出 | ||||
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| 06:無顯示;無485通訊口;有4-20mA輸出 | ||||
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| 材質(zhì) | 0:304不銹鋼 | ||||
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| 1:316不銹鋼 | |||||
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| 2:316L不銹鋼 | |||||
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| 3:鋁 | |||||
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| 4:其他 | |||||
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| 壓力 | 0:≤0.3Mpa | |||||
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| 1:≤0.6Mpa | ||||||
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| 2:≤1.0Mpa | ||||||
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| 被測介質(zhì) | |||||||
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| 流量范圍 | ||||||||
| 產(chǎn)品通徑 | 03:DN3 | ||||||||
| 06:DN6 | |||||||||
| 08:DN8 | |||||||||
| 10:DN10 | |||||||||
產(chǎn)品類型 | M:質(zhì)量流量計(jì) | |||||||||
C:質(zhì)量流量控制器 |
微氣體質(zhì)量流量計(jì)的機(jī)械尺寸
| L | D | H | G |
DN3 | 74 | 30 | 127 | G1/8 |
DN6 | 74 | 30 | 127 | G1/4 |
DN8 | 90 | 30 | 127 | G3/8 |
DN10 | 130 | 35 | 127 | G1/2 |
微氣體質(zhì)量流量計(jì)的輸出
PIN1:報(bào)警輸出2
PIN2:報(bào)警輸出1
PIN4:RS485B
PIN5:RS485A
PIN11:電源負(fù)端(0V)
PIN12:電斷正端(24V)
PIN14:LOOP-
PIN15:LOOP+
PIN3、6~10、13:信號地(報(bào)警信號參考地)
8.2 報(bào)警連接
8.3 RS485連接:
8.4 4-20mA輸出連接:
- 上一個: 橢圓齒輪流量計(jì)價(jià)格
- 下一個: 矩形機(jī)翼測風(fēng)裝置